氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏
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氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏

氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏
上海伯東客戶某專門生產半導體配管配件工程公司, 定制高端不銹鋼管, 配件, 閥門和歧管廣泛應用于半導體廠務端, 用于輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現場量測管路, 然后對不同口徑的管路進行焊接, 因半導體行業的苛刻使用要求, 產品漏率值需要達到 <1E-9mar l/s, 因此需要進行泄漏檢測, 已驗收管件是否達標. 客戶對檢漏效率要求較高, 需要在生產線使用且方便移動操作, 經過上海伯東推薦最終選擇移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390 和 ASM 392!
氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏
半導體用真空配管檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 按照下圖組裝樣品, 在懷疑有漏的地方噴氦氣(一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處), 如果有漏, 檢漏儀會出現聲光報警同時在屏幕上顯示當前漏率值.

檢漏配置:
1. 氦質譜檢漏儀 ASM 390 1臺
2. 客制轉接頭和配套密封件一套
3. 噴槍和配套氦氣瓶一套

 

氦質譜檢漏儀ASM390

將制作好的各種管件加工焊接, 然后管路連接至氦氣檢漏儀 ASM 390 進行檢漏

 

氦質譜檢漏儀波紋管檢漏

經過實際測試, 無論管徑是 6’, 8’ or 10’, 長度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以內達到客戶檢漏底壓需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又精準, 大大提升了工作效率

氦質譜檢漏儀

測試各個管路時, 可依照客戶需求將數據記錄儲存 (并可儲存至計算機內)

 

氦質譜檢漏儀ASM390

到現場配管, 所有管件組裝后, 長度達好幾十米, 對比之前的檢漏時間, 工程花費時間可能趨近于一天, 但選用伯東 Pfeiffer ASM 390, 在整體抽校與檢漏時間上, 幾乎縮短了一倍時間!

 

氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏

因管路銜接長, Pfeiffer ASM 390 針對此點多了一項功能
大漏模式: 定性泄漏檢測從100 mbar 到20 mbar 開始(進入測試模式之前)此一區間即可進行檢漏, 快速縮短檢漏時間

 

 

氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術優勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜檢漏儀替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用 >>

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