渦輪分子泵應用于分子束外延 MBE
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渦輪分子泵應用于分子束外延 MBE

渦輪分子泵應用于分子束外延 MBE
分子束外延 Molecular Beam Epitaxy, 簡稱 MBE 是一種晶體生長技術, 首先將待成長的芯片放置在超高真空腔體中 ~10-10Torr, 和將需要生長的單晶物質按元素的不同分別放在噴射爐中, 當爐溫升至一定溫度時, 爐中的材料會以原子束或分子束的形式蒸發出來, 此時基板也被加熱至一適當的溫度, 分子束射至基板時, 就會與基板表面的原子結合而生長出極薄的, 可薄至單原子層水平, 單晶體和幾種物質交替的超晶格結構. 分子束外延 MBE 設備在生長二維材料以及拓撲材料, 氧化物方面都有不錯的性能. 如: III-V 族, II-VI 族, Si SiGe, 金屬與金屬氧化物, 以及 GaN, AlN, AlGaN, InGaN, AlGaInN, CIGS, OLED 等.

分子束外延 MBE 系統需要在超高真空環境中進行, 對真空度要求及其高, 真空度可到 2×10-10 torr, 同時需要分子泵低振動, 低噪音, 清潔無油確保超高真空的穩定性已保證晶格的生長和后期的探測分析.

上海伯東分子束外延 MBE 客戶案例一: 某真空系統集成商搭建 MBE 設備, 經過我司推薦采購 Pfeiffer 渦輪分子泵組 HiCube 300 Pro. 客戶的 MBE 系統可用于最大單片 4"或 3X2"的襯底, 進行 III-V,II-VI 及氮化物, 氧化物等各類材料的外延生長.
分子泵組
上海伯東分子束外延 MBE 客戶案例二: 根據真空腔室大小和客戶要求的抽空時間, 上海伯東推薦某真空設備商 MBE 設備搭配 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 700, 真空可達到10-10 Torr. HiPace 700 尺寸 Φ208 x 224mm, 重量 17.4 kg, 方便集成于設備中!

渦輪分子泵

渦輪分子泵 HiPace 700
接口: DN 160 CF-F
極限真空: < 5X10-10 mbar
氮氣壓縮比: > 1X1011
抽速N2: 685 l/s

上海伯東德國 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用. 推薦分子泵典型應用 >>

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