氦質譜檢漏儀半導體配件檢漏
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氦質譜檢漏儀半導體配件檢漏

氦質譜檢漏儀半導體配件檢漏
某專門生產半導體配件公司, 高端不銹鋼管, 配件, 閥門和歧管廣泛應用于半導體行業, 因半導體行業的苛刻使用要求, 產品漏率值需要達到 10-9mar l/s, 因此需要進行泄漏檢測, 已驗收管件是否達標. 客戶對檢漏效率要求較高, 需要在生產線使用且方便移動操作, 經過上海伯東推薦最終選擇移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390.

待檢漏產品:
氦質譜檢漏儀半導體配件檢漏
半導體配件檢漏方法:
根據待檢漏產品特性, 選擇真空法來檢漏, 設定好漏率值,用檢漏儀直接連接待檢漏配件, 檢漏儀將檢測配件內部的氣體抽到一定的真空度, 然后氦氣通過噴槍吹掃在部件的外表面. 可直觀定位漏點, 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390 符合人體工學設計, 移動性強, 完全符合 Semi S2 標準!
氦質譜檢漏儀半導體配件檢漏

上海伯東德國 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390

針對大型檢漏部件設計研發, 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, ASM 390 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應時間, 可以加速泄漏檢測流程, 降低生產設備的停機時間!
檢測氣體: 4He, 3He, H2
最小檢測漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
對氦氣的抽速: 10 l/s
前級泵抽速: 35 m3/h

鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解半導體配件檢漏方案, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐                                  臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                          F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
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