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分子泵組應用于低溫真空探針臺
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分子泵組應用于低溫真空探針臺

Pfeiffer 分子泵組應用于低溫真空探針臺
真空探針臺一般用于復雜, 高速精密器件進行表面觀測以及各種性能測試的儀器, 通過測試可以保障產品的質量和可靠性并縮減研發時間和器件制造工藝的成本. 探針臺主要應用于半導體行業, 光電行業, 集成電路以及封裝的測試

為什么需要真空環境?
1. 真空探針臺通過搭配分子泵組, 配合真空吸附卡盤及真空吸附探針座的使用, 通過空氣壓縮, 固定樣品及探針座.
2. 由于晶圓在超低溫情況下進行探測, 水氣將會出現并且將會凍結晶圓. 水氣會影響測量, 導致測量失敗. 真空腔中的水氣需要通過真空泵排出.
3. 當晶圓加熱超過 300攝氏度, 400攝氏度, 500攝氏度或者更高溫度時, 會發生很強烈的氧化. 溫度越高, 越加大硅片表面的氧化, 氧化將使晶圓降低電學性, 物理性和機械性. 真空腔中的氧氣需要通過分子泵組來排出.

上海伯東渦輪分子泵組應用于低溫真空探針臺客戶案例: 某企業通過上海伯東推薦采購德國 Pfeiffer 經濟型分子泵組 HiCube 80 Eco, 分子泵與隔膜泵完美結合, 整機設計, 即插即用, 提供清潔, 低振動, 穩定的高真空環境.
渦輪分子泵組
上海伯東 Pfeiffer 普發分子泵組 HiCube Eco 技術規格

泵組型號

進氣法蘭

分子泵
型號

抽速
氮氣l/s

極限真空
 hPa

前級泵型號

前級泵
抽速 m³/h

Hicube 80 Eco

DN 40 ISO-KF

HiPace 80

35

1X10-7

MVP 015-2

0.5

DN 63 CF-F

HiPace 80

67

1X10-8

MVP 015-2

1

DN 63 ISO-K

HiPace 80

67

1X10-7

MVP 015-2

1


Pfeiffer 渦輪分子泵組整體模塊化設計, 內部集成前級泵和分子泵, "即插即用", 抽速范圍 35 至 685 L/S, 極限真空 5X10-10 hPa, 提供經濟型分子泵組 ECO, 標準型分子泵組 Classic 高性能渦輪分子泵組 Pro 滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 真空計共同使用.

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