Pfeiffer 普發多級羅茨泵
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Pfeiffer 普發多級羅茨泵

Pfeiffer 普發多級羅茨泵(干式真空泵)
上海伯東 Pfeiffer 普發多級羅茨泵 (干式真空泵) 為各種應用提供清潔和干燥的真空環境!提供適合清潔制程應用的 ACP 系列多級羅茨泵和 A 100L, ACG 600 G, ACP 120 G 干泵, 適合普通制程應用的 A3P 系列和適合嚴苛制程應用的 ADH , A4H, A4X 系列.
適合清潔制程應用的干泵
氣冷型多級羅茨泵 ACP 15, ACP 28, ACP 40 很少需要保養, 適用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制程.

型號

接口尺寸 DN

極限真空度 mbar

抽速

最大漏率

重量

有氣鎮閥

無氣鎮閥

m3/h

mbar l/s

kg

ACP 15 SD
ACP 15 G

25

0.1

3.10-2

14

< 5.10-7

23

ACP 28 SD
ACP 28 G
ACP 28 CV
ACP 28 CP
ACP 28 SH

25

0.1

3.10-2

27

< 5.10-7

30

ACP 40 SD
ACP 40 G
ACP 40 CV
ACP 40 CP
ACP 40 SH

40

0.1

3.10-2

37

< 5.10-7

32

SD: 標準版本, 適用于要求清潔無塵且無腐蝕性氣體的應用設. 標準泵配有氣鎮閥, 可以改善小分子氣體的抽氣能力并避免泵內部冷凝. 三種氣鎮可選,滿足不同應用
G: 抗腐蝕版本, 適用于微量腐蝕性氣體, 三個吹掃氣體噴嘴可保護低壓和高壓軸承, 并稀釋一定量的腐蝕性氣體.
CV: 耐水汽版本, 適用于抽氣環境含有水汽的應用, 純水蒸汽容量擴展至 1,000 g/h
SH: 無氟版本
CP: 氣體回收版本, 通入氣體必須是清潔,  無塵, 無腐蝕性的氣體

緊湊型多級羅茨泵 A 100 L , 用于潔凈制程的整體式干泵

型號

進氣口尺寸 DN

極限壓力 hPa

抽速

噪音比

重量

m3/h

dB (A)

kg

A 100 L

50

6.6 X 10-3

100

58

100

A 100L ES

50

7 X 10-4

100

55

100

A 200 L

50

8 X 10-3

200

58

100

L: 標準版本    ES: 節能版本

適合工業用途的干泵, ACG 600 G, ACP 120 G, 具有高抽速和低極限壓力多級羅茨泵 ACP 120 泵可用于冷凍干燥應用

型號

連接尺寸

DN

吹掃流為50 SL/mn

極限壓強

抽速

噪音比

重量

Mbar

m3/h

dBA

kg

ACP 120

50

NA

95

< 65

205

ACP 120 G

50

3E-2

95

< 65

205

ACG 600 G

100

6 X 10-3

480

68

320

二、適合普通制程應用的 A3P 系列, 適用于針對中型工藝的高能效先進技術
具有三款型號可選, 由于產品極大地降低了運營成本, 使其在市場中脫穎而出. 與以往真空泵技術相比, 最高節約能耗可達 50%, 在工藝適應性方面, 該系列真空泵結合了最先進的技術.此外, 由于產品的結構設計緊湊, 使其與傳統的真空泵相比, 可節約高達50%的空間.

三、適合嚴苛制程應用的 ADH , A4H, A4X 系列.
 

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