渦輪分子泵 HiPace? 1200-2300
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渦輪分子泵 HiPace? 1200-2300

Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 1200-2300
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200-2300, 抽速范圍 1200-2300 l/s 的全系列緊湊型復合軸承渦輪分子泵, HiPace 1200 - 2300 系列渦輪分子泵可以倒置安裝。對小分子量氣體(H2, He)和大分子量氣體(Ar, CF4)都有很高的抽速。

分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 產品優點
1. 抽速從 1200-2300 l/s 的全系列產品
2. 安裝角度可選 0°-90° 和 90°-180°
3. 分子泵有抗腐蝕性氣體型號可選(C型號)
4. 帶節流閥和閥門的集成凈化氣體系統
5. 電壓范圍 90 - 265 V
6. 獲得 SEMI S2, UL, CSA 和 TÜV認證
7. 防護等級 IP54 符合工業環境應用要求
8. 適用于各種嚴苛工藝如刻蝕,濺鍍,分子泵耐粉塵
9. 集成分子泵控制器 TC 1200,可直接連接一般電源

分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 技術參數

分子泵型號

分子泵連接尺寸 DN

抽速 l/s

壓縮比

最高啟動壓強hPa

極限壓力

全轉速氣體流量hPa l/s

啟動時間

重量

進氣口

排氣口

氮氣
N2

氦氣He

氫氣 H2

氮氣
N2

氮氣N2

hPa

氮氣N2

min

kg

HiPace® 1200

200

40

1,250

1,300

1,100

> 1X108

2

< 1X10–7

20

2.5

27 – 40

HiPace® 1500

250

40

1,400

1,350

1,150

> 1X108

2

< 1X10–7

20

2.5

29 – 41

HiPace® 1800

200

40

1,450

1,650

1,700

> 1X108

1.8

< 1X10–7

20

4

33 – 34

HiPace® 2300

250

40

1,900

2,000

1,850

> 1X108

1.8

< 1X10–7

20

4

34 – 47

C = 抗腐蝕性氣體
T = 溫控管理

分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 應用領域:
1. 分析儀器 2. 半導體 3. 鍍膜 4. 工業  5. 研發

分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-K


分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-F


分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 CF-F


分子泵 HiPace™ 1200, pumping speed


分子泵 HiPace™ 1500, DN 250 ISO-K


分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 ISO-F


分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 CF-F


分子泵 HiPace™ 1500, pumping speed


分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-K


分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-F


分子泵 HiPace™ 1800, pumping speed


分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-K


分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-F


分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 CF-F


分子泵 HiPace™ 2300, pumping speed,

上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用. 推薦分子泵典型應用 >>

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