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HVA 真空閘閥 真空插板閥 11000 系列
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HVA 真空閘閥 真空插板閥 11000 系列

美國 HVA 高真空閘閥 超高真空插板閥 11000 系列
上海伯東美國 HVA 真空閘閥 真空插板閥 11000 系列滿足高真空和超高真空應用, 清潔和高密封性保證 HVA 真空閘閥前級泵, 渦輪分子泵完美聯用.

HVA 不銹鋼高真空閘閥 真空插板閥 11000 系列產品特點
高真空和超高真空, 閥門主體和內部組件采用不繡鋼材質
閥門口徑 DN 16 - 800 mm , 手動或氣動驅動
不繡鋼焊接波紋管, 標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
最高溫度 250°C
堅固耐用, 達到設定的真空度時, 氣動閥門自動開閉, 有purge 接口
全部美國設計, 制造, 組裝, 原裝進口

HVA 高真空閘閥 超真空插板閥 11000 系列技術參數

 閥門材質:

 - 閥門主體

 304 不銹鋼

 - 焊接波紋管軸封

 AM - 350

 閥門密封方式

 - 高真空

 氟橡膠

 - 超高真空

 銅墊圈 / 氟橡膠

 真空:

 - 壓力范圍

 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差壓關閉

 1 bar ( 任意位置 )

 - 開啟前最大壓力

 ≤ 30 mbar

 烘烤溫度(不含電磁閥):

 - 佛橡膠密封

 150 °c, 可選配置最大 250 °c

 - 銅墊圈密封

 閥門關閉 200 °c, 閥門打開 150 °c

 - 驅動方式

 手動 60 °c, 氣動 60 °c

 - 氣體

 80 psig (5.5 bar)

 - 電磁

 4.0 Watts

 - 供電

 120 VAC 50 /60 Hz

 - 可選電壓

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 - 位置指示器,最大

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

 使用壽命: 100,000 啟閉次數 (具體視實際使用情況決定)

 公稱通徑: DN 16 - 800 mm


美國 HVA 11000 系列高真空閘閥有正面鎖定的中心裝置或一個軟封的氣動閘(可選擇的) , 閥門保持關閉狀態以防空氣壓力損失, 11000 系列真空閘閥獨特的氣缸設計保證最低的沖擊和振動, 因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動的敏感加工工業. HVA不銹鋼真空閘閥提供了業界最小的內部接口. 閥體和所有內部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的最大完整性,效消除了虛漏和缺陷部分, 閥體變形. 閥門手動, 三種驅動方式可選, 或定制法蘭滿足不同應用. 美國 HVA 真空閘閥 11000 系列可任意位置安裝.

HVA 真空閘閥 真空插板閥應用案例一

上海伯東客戶某大學自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統, 采用美國 HVA 真空閘閥 11000 系列并搭配 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300渦輪分子泵 Hipace 80 成功分析生長晶體表面結構.
HVA 真空閥門

HVA 真空閘閥 真空插板閥應用案例二
美國 HVA 真空插板閥在半導體管道中的應用

 半導體管道插板閥應用示意圖                                                                       現場圖

真空插板閥
 

HVA 標準周期真空閘閥 11000 系列組成:
HVA 11000 真空閘閥


美國 HVA 真空閥門-美國最大真空閥門制造商. 美國 HVA 原裝進口真空閥門, 超過50年的高真空和超高真空閥門設計與制造. 主營高真空閘閥, 超高真空插板閥廣泛應用于半導體, 鍍膜, 激光, 科研, 工業等領域. 上海伯東是美國 HVA 真空閥門在中國地區唯一指定總代理商。

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